| 型號(hào) | JL-RTR3700 | |
| 等離子源系統(tǒng) | 等離子發(fā)生器 | 頻率：40KHZ；功率：20KW可調(diào) |
| 設(shè)備參數(shù) | 主機(jī)尺寸 | 2545*2300* 2400mm（寬*深*高） |
| 重量 | 2500Kg | |
| 真空腔體 | 材質(zhì) | 鋁合金 |
| 真空腔內(nèi)尺寸 | 2000*1162*1580（寬*深*高） | |
| 容積 | 3700L | |
| 電極 | 電極分布 | 垂直分布，每片電極獨(dú)立冷卻 |
| 電極數(shù)量 | 6片 | |
| 電極冷卻方式 | 一體式水冷 | |
| 工藝氣體控制系統(tǒng) | 質(zhì)量流量控制器 | parker |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置4路氣體 | 一路2000sccms,三路5000sccms | |
| 軟件控制系統(tǒng) | 人機(jī)界面+PLC | |
| 真空泵系統(tǒng) | 真空工作力 | 進(jìn)氣氧氣流量2.5-3.0L/min狀態(tài)下，工作壓力可控范圍180-300mTorr |
| 真空泵組 | 抽速能力1160 m3/h / 1900m3/h （可選） | |
| 收放卷結(jié)構(gòu) | 收、放卷 | 伺服控制 |
| 張力控制 | 恒定張力控制 | |
| 速度 | 恒速速度控制 | |
| 伺服糾偏系統(tǒng) | 糾偏誤差不超過(guò)±10mm | |
| 性能 | 處理均勻 | 100% |
| 上下料 | 整卷材料采用小型電瓶叉車上料（或小型電瓶吊車） | |
| 穩(wěn)定 | 設(shè)備整體運(yùn)行平滑，沒(méi)有停頓、卡殼現(xiàn)象，具備較好的人機(jī)交互 | |
