| 型號 | JL-VMON135 | ||
| 等離子源系統(tǒng) | 等離子發(fā)生器 | 頻率：13.56MHZ；功率1000W可調 | |
| 真空系統(tǒng) |
真空腔體 | 材質 | 316不銹鋼 |
| 腔體內(nèi)部尺寸 | 1250mm(長）*705mm（寬）*150mm（高） | ||
| 腔體容積 | 135L | ||
| 泵 | 真空泵組 | 機械泵+羅茨泵 | |
| 皮拉尼電阻式真空計 | 正華 | ||
| 質量流量計 | SEVENSTAR | ||
| 氣路控制 | 標配2路（可定制），氣體流量可調，適用Ar、N?、CF?、O?、H? | ||
| 工作真空度 | 5Pa-30Pa | ||
| 電控系統(tǒng) | 人機工控系統(tǒng) | 自動+手動觸控式全中文界面 | |
| PLC+觸摸屏 | 顧美一體機 | ||
| 開關電源 | 臺灣明偉 | ||
| 變頻控制系統(tǒng) | 根據(jù)實際情況自動調節(jié)真空泵抽速，實時確保真空度穩(wěn)定 | ||
| 軟件程序 | 自主專利設計等離子控制系統(tǒng)，三級權限設置自動、手動模式 配方參數(shù)設定、存儲、調用，報警歷史查詢，IO監(jiān)控 |
||
| 報警功能 | 真空度、輝光、功率、氣壓等實時監(jiān)控報警 （三色燈蜂鳴器報警+顯示屏提示） |
||
| 進氣系統(tǒng) | 氣體控制系統(tǒng) | 電磁閥 | |
| 氣壓監(jiān)測系統(tǒng) | 減壓閥、壓力報警表 | ||
| 進氣管路組件 | Φ8mm軟管+不銹鋼套管路 | ||
| 泄壓系統(tǒng) | 破真空組件 | 擋板閥+節(jié)流閥+消音器 | |
| 整機參數(shù) | 外形尺寸（MM) | 640(寬）*750(深）*1700(高） | |
| 重量 | 130kg | ||
| 額定總功率 | 3KW | ||
