| 型號(hào) | JL-BVB300-GZ | ||
| 等離子源系統(tǒng) | 等離子發(fā)生器 | 頻率：40KHZ；功率5KW可調(diào) | |
| 真空系統(tǒng) |
真空腔體 | 材質(zhì) | 316不銹鋼 |
| 腔體內(nèi)部尺寸 | 500mm(寬）X750mm（深）X800mm（高） | ||
| 極板層數(shù) | 11層，垂直式，活動(dòng)可調(diào)節(jié) | ||
| 托盤(pán)尺寸 | 托盤(pán)有效尺寸：340X590mm；10個(gè)托盤(pán)，每層放800個(gè)產(chǎn)品； | ||
| 腔體容積 | 300L | ||
| 泵 | 真空泵組 | 愛(ài)德華 | |
| 皮拉尼電阻式真空計(jì) | 日本愛(ài)發(fā)科 | ||
| 質(zhì)量流量計(jì) | SEVENSTAR | ||
| 氣路控制 | 標(biāo)配2路（可定制），氣體流量可調(diào)，適用Ar、N?、CF?、O?、H? | ||
| 工作真空度 | 5Pa-30Pa | ||
| 電控系統(tǒng) | 人機(jī)工控系統(tǒng) | 自動(dòng)+手動(dòng)觸控式全中文界面 | |
| PLC+觸摸屏 | 顧美一體機(jī) | ||
| 開(kāi)關(guān)電源 | 臺(tái)灣明偉 | ||
| 變頻控制系統(tǒng) | 根據(jù)實(shí)際情況自動(dòng)調(diào)節(jié)真空泵抽速，實(shí)時(shí)確保真空度穩(wěn)定 | ||
| 軟件程序 | 自主專(zhuān)利設(shè)計(jì)等離子控制系統(tǒng)，三級(jí)權(quán)限設(shè)置自動(dòng)、手動(dòng)模式 配方參數(shù)設(shè)定、存儲(chǔ)、調(diào)用，報(bào)警歷史查詢(xún)，IO監(jiān)控 |
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| 報(bào)警功能 | 真空度、輝光、功率、氣壓等實(shí)時(shí)監(jiān)控報(bào)警 （三色燈蜂鳴器報(bào)警+顯示屏提示） |
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| 進(jìn)氣系統(tǒng) | 氣體控制系統(tǒng) | 電磁閥 | |
| 氣壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng) | 減壓閥、壓力報(bào)警表 | ||
| 進(jìn)氣管路組件 | Φ8mm軟管+不銹鋼套管路 | ||
| 模溫機(jī) | 3HP | ||
| 泄壓系統(tǒng) | 破真空組件 | 擋板閥+節(jié)流閥+消音器 | |
| 整機(jī)參數(shù) | 外形尺寸（MM) | 1100(寬）*1350(深）*1820(高） | |
| 重量 | 1000kg | ||
| 額定總功率 | 10KW | ||
