| 型號 | JL-V30 | ||
| 等離子源系統(tǒng) | 等離子發(fā)生器(可選） | 射頻頻率：13.56MHZ；功率300W可調(diào) | |
| 中頻頻率：40KHZ；功率2KW可調(diào) | |||
| 真空系統(tǒng) |
真空腔體 | 材質(zhì) | 316不銹鋼 |
| 腔體內(nèi)部尺寸 | 350mm(寬）X300mm（深）X300mm（高） | ||
| 極板 | 5層，水平式，活動可調(diào)節(jié) | ||
| 物料托盤層數(shù) | 4層，有效尺寸：190×270mm | ||
| 腔體容積 | 30L | ||
| 泵 | 真空泵 | 鮑斯（油泵/干泵） | |
| 皮拉尼電阻式真空計 | 日本ULVAC | ||
| 質(zhì)量流量計 | SEVENSTAR | ||
| 氣路控制 | 標配2路（可定制），氣體流量可調(diào)，適用Ar、N?、CF?、O?、H? | ||
| 工作真空度 | 5Pa-30Pa | ||
| 電控系統(tǒng) | 人機工控系統(tǒng) | 自動+手動觸控式全中文界面 | |
| PLC+觸摸屏 | 顧美一體機 | ||
| 開關(guān)電源 | 臺灣明偉 | ||
| 變頻控制系統(tǒng) | 根據(jù)實際情況自動調(diào)節(jié)真空泵抽速，實時確保真空度穩(wěn)定 | ||
| 軟件程序 | 自主專利設(shè)計等離子控制系統(tǒng)，三級權(quán)限設(shè)置自動、手動模式 配方參數(shù)設(shè)定、存儲、調(diào)用，報警歷史查詢，IO監(jiān)控 |
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| 報警功能 | 真空度、輝光、功率、氣壓等實時監(jiān)控報警 （三色燈蜂鳴器報警+顯示屏提示） |
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| 進氣系統(tǒng) | 氣體控制系統(tǒng) | 日本SMC電磁閥 | |
| 氣壓監(jiān)測系統(tǒng) | 日本SMC減壓閥、壓力報警表 | ||
| 進氣管路組件 | Φ8mm軟管+不銹鋼套管路 | ||
| 泄壓系統(tǒng) | 破真空組件 | 擋板閥+節(jié)流閥+消音器 | |
| 整機參數(shù) | 外形尺寸（MM) | 640(寬）*750(深）*1700(高） | |
| 重量 | 280kg | ||
| 額定總功率 | 射頻：1.5KW；中頻：3KW | ||
