等離子清洗機(jī)如何保養(yǎng)方法方式
發(fā)布時(shí)間：2022-04-01 15:54:09
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等離子清洗機(jī)保養(yǎng)
1、檢查電源連接
電壓是否與設(shè)備匹配
（設(shè)備的電壓為220V）。
2、檢查輸氣管道的完整性及真空密封性
定期檢查真空系統(tǒng)的完整性，這種檢查應(yīng)該在徹底的清洗反應(yīng)室之后，以避免污染物遺漏在腔體中。
定期檢查反應(yīng)腔體門(mén)密封條是不是松動(dòng)。
檢查各管路是否連接緊固，老化等問(wèn)題。
3、清洗反應(yīng)腔室
首先脫脂棉布沾無(wú)水乙醇（俗稱(chēng)酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反應(yīng)腔體觀(guān)察玻璃）真空腔體。
其次腔體導(dǎo)入（氬氣+氧氣）或（氮?dú)?氧氣），用等離子體清除腔體內(nèi)殘余物。工作10分鐘，每月至少一次。
4、定期檢查真空泵油
每月定期查看真空泵油位和油的純度，觀(guān)察油位視窗，油位接近最低紅線(xiàn)刻度時(shí)，則添加到油紅標(biāo)線(xiàn)上下之間位置；觀(guān)察油的顏色，正常的油為清潔透明，當(dāng)油出現(xiàn)渾濁（油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清）、真空泵噪 音異常，則及時(shí)更換真空油。
